17 |
축전 결합형 O2 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교 (Comparison of Capacitively Coupled O2 Plasma Etching of PMMA and Polycabonate at Different Process Regime) 박주홍, 이성현, 노호섭, 최경훈, 조관식, 이제원 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
16 |
Characteristics of Fluorocarbon Thin Films Deposited in C4F8 and C4F6 Plasmas 권혁규, 지정민, 김창구 한국화학공학회 2008년 가을 학술대회 |
15 |
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각 김재권, 주영우, 박연현, 조관식, 이제원 한국재료학회 2008년 가을 학술대회 |
14 |
Novel plasma polymerization for superhydrophobic surface with Hexamethyldisiloxane(HMDSO)/Toluene mixture coating on glass at Atmosperic Pressure 지영연, 장홍기 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
13 |
Deep Si Etching using SF6/C4F8 and SF6/C4F6 Plasmas 권혁규, 박병훈, 우상호, 김창구 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
12 |
Effect of rf power on the roughness and bond structures of carbon nitride films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition 김상훈, Umar Ahmad, 박용규, 김진환, 이은원, 한윤봉 한국화학공학회 2008년 봄 학술대회 |
11 |
기계적 펌프 기반의 축전 결합형 BCl3/N2와 Cl2/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교 김재권, 노호섭, 주영우, 박연현, 박주홍, 조관식, 송한정, 이제원 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
10 |
Dry etching of Polymethyl methacrylate (PMMA) in capacitively coupled SF6, SF6/Ar and SF6/CH4 plasmas. 박연현, 주영우, 김재권, 노호섭, 이진희, 이제원, 조관식, 송한정 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
9 |
폐리튬 2차전지 양극활물질로부터 화학환원법을 이용한 나노 코발트 제조 김윤도, 송기창 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
8 |
Characteristics of Polymer Films deposited in PFC- and UFC-containing Plasmas during the Bosch Process 권혁규, 이형무, 김창구 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |