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혼합 단일 유기 금속 화합물을 이용한 SrTiO3 박막의 유기 금속 화합물 증착공정에 관한 연구|Metal Organic Chemical Vapor Deposition of strontium titanate (SrTiO3) thin films using the mixed single metal complex
류현규, 허정식, 조성일, 문상흡|Hyun-Kyu Ryu, Jung Shik Heo, Sung il Cho, Sang Heup Moon
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
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TiN 유기금속 화학증착 공정을 위한 tetrakis-dimethyl-amino-titanium의 열분해특성에 관한 연구|Study on thermal decomposition of tetrakis-dimethyl-amido-titanium for TiN metal-organic chemical vapor deposition
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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MOCVD 반응기에서 ZnO:Zn 박막의 증착특성에 관한 연구|A Study on the Deposition Characteristics of ZnO:Zn Thin Film in a MOCVD Reactor
박일우, 윤도영, 전병수, 유재수, 이종덕|Il-Woo Park, Do-Young Yoon, Byung-Soo Chun, Jae-Soo Yoo, Jong-Duk Lee
한국화학공학회 1998년 봄 학술대회 |
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FED용 ZnO:Zn 박막제조를 위한 MOCVD 반응기의 해석|An Analysis of MOCVD Reactor for ZnO:Zn Thin Film Phosphor of FED
박일우, 윤도영, 한춘, 전병수, 유재수|I.-W.Park, D.-Y.Yoon, C.Han, B.S.Jeon, J.-S.Yoo
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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MOCVD 공정에 있어서 구리(Ⅰ) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구|Thermal stability and reaction mechanism of Cu(Ⅰ) precursors in the metal organic chemical vapor deposition
박만영, 이시우|Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane을 이용한 초고집적 회로용 구리 박막의 유기금속 화학증착|Chemical Vapor Deposition of Copper from Hexafluoroacetylacetonate Copper(I) Allyltrimethylsilane
손종훈, 박만영, 이시우|Jong-Hoon Son, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 가을 학술대회 |
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Tetrakis (dimethylamido) titanium을 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서의 기상반응에 대한 연구|Study on the Gas Phase Reaction in Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of TiN
윤주영, 박만영, 이시우|Ju-Young Yun, Man-Young Park, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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CVD에 의한 YSZ 박막의 제조|Preparation of YSZ Thin Films by CVD
김기동, 전진석, 최동수|K.D.KIM, J.S.Jeon, D.Choi
한국화학공학회 1997년 봄 학술대회 |
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TDEAT를 이용한 TiN 유기금속 화학증착에서 수소와 질소 플라즈마 효과|The Effects of H2 and N2 Plasmain Metal Organic Chemical Vapor Deposition of TiN using TDEAT
윤주영, 이시우|Ju-Young Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA
박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
