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High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
아드리안, 최지현, 황수민, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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MACE를 이용한 Ge 패터닝
조용진, 이승효, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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표면 Texturing을 이용한 반분극 (11-22) GaN 쇼트키 다이오드 수소 센서의 특성 향상
백광현, 김지민, 장수환
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
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A study on anti-glare glass with nanostructured surface prepared by the polymer blend lithography and dry etch process
이승환, 홍승표
한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
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불소용제에 용해성을 지니는 고불소계 고분자를 이용하여 Ag nanowire 패턴 형성에 대한 연구.
정석헌, 김영태, 손종찬, 김명수, 박세근, 이진균
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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Application of new acrylamide-based block copolymers to next generation nanolithography
한양규
한국고분자학회 2014년 가을 학술대회 |
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Angular dependence of SiO2 etch rate in fluorocarbon plasmas
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies
육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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Preparation of ZrO2 films on etch tunnels of anode Al foil by sol-gel method
Fei Chen, 박상식
한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
