화학공학소재연구정보센터
번호 제목
18 다이렉트 플라즈마와 리모트 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 하프늄 산화막의 물리적, 전기적 특성에 관한 연구|The Characteristics of HfO2 Thin High-k Gate Oxide Deposited by Direct and Remote Plasma Atomic Layer Deposition Methods.
김인회, 국승우, 김석훈, 전형탁
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
17 원자층 증착법으로 SiO2 박막이 코팅된 BaMgAl10O17:Eu2+ 형광체 분말의 발광 특성 향상|Improvement of Luminescent Properties of BaMgAl10O17:Eu2+ Phosphor Powder Coated SiO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition
김휴석, 김민완, 김형수, 김혁종, 정영규, 김석환, 이상우, 최병호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회
16 Investigation of WN growth by Atomic Layer Deposition using a new precursor ; (t-BuN)2(NMeEt)2W
김은정, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
15 Preparation of Cu thin films By Remote Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition using Copper(Ⅱ) dimethylamino-2-propoxide
윤동준, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
14 Preparation of TaN thin film By H2 Plasma Assisted Atomic Layer Deposition usingTert-butylimino-tris-ethylmethylamino tantalum
김등관, 김도형
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회
13 45 nm 테크놀로지와 그 이후를 위한 금속계 나노 박막의 원자층 증착법|ALD of metal nanofilms for 45 nm technology and beyond
김형준
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
12 원자층 증착법으로 HfO2 박막이 코팅된 ZnS 형광체 분말의 발광 특성 향상|Improvement of Luminescent Properties of ZnS Phosphor Powder Coated HfO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition Method
김형수, 김혁종, 김민완, 김휴석, 김석환, 이상우, 최병호
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
11 PEALD 방법으로 증착된 La2O3 게이트 산화물 박막의 전기적 특성|Electrical properties of lanthanum oxide films deposited by Plasma Enhenced Atomic Layer Deposition
이은주, 김범용, 고명균, 박종완
한국재료학회 2005년 봄 학술대회
10 Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum  
김등관, 김도형
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회
9 Hf(O-iPr)4를 이용하여 원자층증착한 HfO2 박막의 특성분석
김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회