화학공학소재연구정보센터
번호 제목
5 플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD
최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
4 PAX기법을 이용하여 기판온도와 Co증착량에 따른 Co/vicinal Cu(111)의 특성|Characterization of Co/vicinal Cu(111) through various substrate temperature and Co deposition amount using PAX method
김정현, 서재명, 신형식|Jung-Hyun Kim, J. M. Seo, Hyung-Shik Shin
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3 대기압 플라즈마 제트를 이용한 다이아몬드의 고속증착|High growth rate diamond synthesis in a atmospheric plasma jet
윤종선, 박동화|Jong-Sun Yun, Dong-Wha Park
한국화학공학회 1998년 가을 학술대회
2 DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA
박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회
1 플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect
김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 1996년 가을 학술대회