번호 | 제목 |
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플라즈마 CVD 용 기판 가열기 해석|Heat Transfer Analysis of Substrate Heater for Plasma CVD 최락준, 임연호, 정탁, 한윤봉|Rak Jun Choi, Yeon Ho Lim, Tak Jeong, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
4 |
PAX기법을 이용하여 기판온도와 Co증착량에 따른 Co/vicinal Cu(111)의 특성|Characterization of Co/vicinal Cu(111) through various substrate temperature and Co deposition amount using PAX method 김정현, 서재명, 신형식|Jung-Hyun Kim, J. M. Seo, Hyung-Shik Shin 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
3 |
대기압 플라즈마 제트를 이용한 다이아몬드의 고속증착|High growth rate diamond synthesis in a atmospheric plasma jet 윤종선, 박동화|Jong-Sun Yun, Dong-Wha Park 한국화학공학회 1998년 가을 학술대회 |
2 |
DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착공정에서의 기사반응 메카니즘 연구|Study on Gas Phase Reaction Mechanism for Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Process of DMEAA 박만영, 윤종호, 이시우|Man-Young Park, Jong-Ho Yun, Shi-Woo Rhee 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |
1 |
플라즈마 화학 증착법에 의한 PbTiO3 박막의 증착과 급속열처리 효과|Preparation of PbTiO3 Thin Film by PECVD and RTA Effect 김종화, 한윤봉|Jong-Wha Kim, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 1996년 가을 학술대회 |