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DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착한 Ge2Sb2Te5 박막의 결정화 거동 및 전기적 특성에 관한 연구|The study of the crystalline behavior and electrical property of nominal-composition Ge2Sb2Te5 thin films prepared by dc-magnetron sputtering 김현정, 권순용, 최시경, 박주철, 임창빈 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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스퍼터링법을 이용하여 제작한 Zn1-XCoXO 박막의 Co 농도변화에 따른 전기 및 자기적 특성|Electrical and magnetic properties of Zn1-XCoXO film prepared by pulsed magnetron sputtering 고석배, 고윤덕, 최문순, 태원필, 김기출, 김상협, 서수정, 김용성 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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박막 저항체 응용을 위해 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 Cu-Ni 합금 박막의 조성에 따른 특성 연구|Characteristics of Cu-Ni alloy with concentration deposited by magnetron sputtering for thin film resistor 허성기, 성낙진, 최규정, 김동진, 윤순길 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 보론카바이드 증착막의 기계적 특성|Effect of reactive CH4 gas flow in sputtering process on tribological properties of deposited boron carbide thin film 이광은, 김종오, 김종희, 박명진 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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고주파 마그네트론 스퍼터링 법에 의해 증착된 YIG(Yittrium Iron Garnet) 박막의 결정화 조건에 따른 자기적 특성 연구|Effects of processing parameters on the crystallization behaviour of amorphous YIG thin films deposited by RF-magnetron sputtering 강영민, 위성훈, 유상임 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Y3Al5O12:Ce 형광체 박막의 발광 특성|Luminescent Properties of Y3Al5O12:Ce Phosphor Thin Film 김주원, 한상혁, 김영진 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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박막 트랜지스터 제조를 위해 플라스틱 기판에 형성된 다결정 실리콘 박막의 전기적, 구조적 특성|Electrical and structural Properties of Poly-Si thin film on plastic substrates for Thin film transistor 조세현, 이인규, 김영훈, 문대규, 김원근, 한정인 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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박막 리튬이차전지용 비정질계 바나듐 산화물의 특성에 관한 연구|Electrical characteristics of amorphous vanadium oxide cathode material for micro-battery 이재호, 김영재, 문희수, 박종완 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target 이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film 이승렬, 김선일, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |