화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 저 유전체로서의 microphase-separated된 공중합체|Microphase-separated copolymer as a dielectric materials
이상헌, 배영찬|Sang Hun Lee, Young Chan Bae
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
3 Metylsilsesquioxane 반도체 저유전 층간 절연막 재료의 졸-겔 합성|The Synthesis of Methylsilsesquiixane low-k dielectrics by sol-gel method
이정훈, 석상일, 이창진, 진문영, 강영구, 서태수, 홍석인|Jung-Hoon Lee, Sang-Il Seok, Chang-Jin Lee, Moon-Young Jin, Yong-Ku Kang, Tae-Soo Suh, Seok-In Hong
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회
2 층간절연체로 사용을 위한 저유전율 재료|Low Dielectric Constant Materials for ILD Applications
김의정|Eui Jung Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회
1 초고 집적회로에서 층간 절연막으로 사용하기 위한 저 유전체 박막물질 증착|Deposition of Low Dielectric Constant Material for Intermetal Dielectric Applications in ULSI Circuits
김동선|Dong S. Kim
한국화학공학회 1999년 봄 학술대회