번호 | 제목 |
---|---|
4 |
저 유전체로서의 microphase-separated된 공중합체|Microphase-separated copolymer as a dielectric materials 이상헌, 배영찬|Sang Hun Lee, Young Chan Bae 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
3 |
Metylsilsesquioxane 반도체 저유전 층간 절연막 재료의 졸-겔 합성|The Synthesis of Methylsilsesquiixane low-k dielectrics by sol-gel method 이정훈, 석상일, 이창진, 진문영, 강영구, 서태수, 홍석인|Jung-Hoon Lee, Sang-Il Seok, Chang-Jin Lee, Moon-Young Jin, Yong-Ku Kang, Tae-Soo Suh, Seok-In Hong 한국화학공학회 2000년 봄 학술대회 |
2 |
층간절연체로 사용을 위한 저유전율 재료|Low Dielectric Constant Materials for ILD Applications 김의정|Eui Jung Kim 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |
1 |
초고 집적회로에서 층간 절연막으로 사용하기 위한 저 유전체 박막물질 증착|Deposition of Low Dielectric Constant Material for Intermetal Dielectric Applications in ULSI Circuits 김동선|Dong S. Kim 한국화학공학회 1999년 봄 학술대회 |