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반응성 스퍼터링으로 제조한 Cr-doped ZnO 박막의 성장과 전·자기적 특성 연구|Growth and Electric · magnetic properties of Cr-doped ZnO thin films by reactive sputtering 심재호, 김현중, 김효진, 김도진, 임영언, 주웅길 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 Er3+ 도핑된 텅스텐-텔루라이트 유리 박막의 제조 및 광학적 특성평가|Fabrication of Er3+-doped Tungsten-Tellurite Glass Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Method and Optical Property Characterization 유기영, 신상훈, 문종하, 김진혁 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target 이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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스퍼터링법으로 증착한 (Zn1-xFex)O박막의 전자기적 특성|Electric and Magnetic properties of (Zn1-xFe)O thin film grown by Sputter Methods 함흥규, 심재호, 송인창, 이병선, 김효진 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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YMnO3와 Bi 첨가한 YMnO3의 저온성장과 표면분석|Low temperature growth and surface analysis of YMnO3 and Bi modified YMnO3 films 김시원, 최택집, 이재찬 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성|(Nanostructural and Optical Features of nc-Si:H thin Films Prepared by PECVD Techniques) 심재현, 조남희 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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Depostion of indium-tin-oxide transparent conducting film on the polycyclic olefin film 하 기 룡, 정 광 욱, 안 희 준, 이 동 호 한국고분자학회 2003년 가을 학술대회 |
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기판온도 및 기판표면에 따른 다이아몬드박막의 특성분석|Characterization of diamond thin film on Si with substrate temperature & surface 서형기, 안사리 SG, 김길성, 김연수, 신형식|Hyung-Kee Seo, S.G. Ansari, Gil-Sung Kim, Yeon-Su Kim, Hyung-Shik Shin 한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching 임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn 한국화학공학회 2001년 봄 학술대회 |
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Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe 박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |