화학공학소재연구정보센터
번호 제목
15 반응성 스퍼터링으로 제조한 Cr-doped ZnO 박막의 성장과 전·자기적 특성 연구|Growth and Electric · magnetic properties of Cr-doped ZnO thin films by reactive sputtering
심재호, 김현중, 김효진, 김도진, 임영언, 주웅길
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
14 RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 Er3+ 도핑된 텅스텐-텔루라이트 유리 박막의 제조 및 광학적 특성평가|Fabrication of Er3+-doped Tungsten-Tellurite Glass Thin Films using Radio Frequency Magnetron Sputtering Method and Optical Property Characterization
유기영, 신상훈, 문종하, 김진혁
한국재료학회 2004년 봄 학술대회
13 반응성 마그네트론 스퍼터링법에 의한 보론카바이드 박막의 제조|Properties of Boron Carbide Thin Films by Reactively Sputtered Boron Target
이광은, 이정영, 박명진, 김종희, 이천배, 김종오
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
12 스퍼터링법으로 증착한 (Zn1-xFex)O박막의 전자기적 특성|Electric and Magnetic properties of (Zn1-xFe)O thin film grown by Sputter Methods
함흥규, 심재호, 송인창, 이병선, 김효진
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
11 YMnO3와 Bi 첨가한 YMnO3의 저온성장과 표면분석|Low temperature growth and surface analysis of YMnO3 and Bi modified YMnO3 films
김시원, 최택집, 이재찬
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
10 PECVD 기법에 의해 제조된 나노 결정 Si 박막의 구조 및 광학적 특성|(Nanostructural and Optical Features of nc-Si:H thin Films Prepared by PECVD Techniques)
심재현, 조남희
한국재료학회 2003년 가을 학술대회
9 Depostion of indium-tin-oxide transparent conducting film on the polycyclic olefin film
하 기 룡, 정 광 욱, 안 희 준, 이 동 호
한국고분자학회 2003년 가을 학술대회
8 기판온도 및 기판표면에 따른 다이아몬드박막의 특성분석|Characterization of diamond thin film on Si with substrate temperature & surface
서형기, 안사리 SG, 김길성, 김연수, 신형식|Hyung-Kee Seo, S.G. Ansari, Gil-Sung Kim, Yeon-Su Kim, Hyung-Shik Shin
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회
7 고밀도 플라즈마를 이용한 식각공정에서 기판 온도상승에 관한 연구|Wafer Heating Effects during High Density Plasma Etching
임연호, 최창선, 김태희, 박진수, 한윤봉|Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Tae Hee Kim, Jin Soo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회
6 Langmuir Probe를 이용한 고밀도 플라즈마 식각 장비 진단|Diagnostics of High Density Plasma Etcher by Langmuir Probe
박진수, 임연호, 최창선, 한윤봉|Jin Soo Park, Yeon Ho Im, Chang Sun Choi, Yoon-Bong Hahn
한국화학공학회 2000년 가을 학술대회