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대기압 PECVD법에 의해 증착된 SiOx 박막의 특성 연구|A study on SiOx film by PECVD at atmospheric pressure
김선애, 김윤기
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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PECVD법으로 증착된 silicon oxynitride의 물성 분석|Physical analysis of silicon oxynitride deposited by PECVD
조유정, 한길진, 김영철
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Autophobic Dewetting of PS/dPS-b-PVP Blend Thin Films
강희만, 김범준, 이승헌, 차국헌, Edward J. Kramer
한국고분자학회 2004년 가을 학술대회 |
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Metal Oxide와 Laminated film을 이용하여 제조한 식품 포장재에 대한 산소 비투과특성에 관한 연구
최우식, 황선환, 이동범
한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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플렉서블 유기 발광 다이오드 안정성 향상을 위한 다층 박막 보호층 연구|A multilayer passivation method for enhanced stability of flexible organic light emitting diode
최성훈, 이찬재, 문대규, 한정인, 오명환
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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ArF lithography에서 발생하는 patterning issue를 극복하기 위한 new lithography 방법에 대한 연구|Study on the new lithography scheme for overcoming the patterning issue be generated in ArF lithography process
황재성, 안진호
한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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Synthesis of ultrafine zinc-silicon oxide particles by the flame spray pyrolysis
서대종, 박승빈
한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향|Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing
이명윤, 강현구, Takeo Katoh, 박형순, 백운규, 박재근
한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Silicon oxide deposition by atmospheric-pressure PECVD in a circulating fluidized bed reactor
박상민, 정순화, 박성희, 김상돈
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
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A Study on Polyelectrolyte at Ceria-water interface for STI CMP
김사라, 소재현, 김남수, 이동준, 양승만
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
