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이종 기공성 γ-알루미나 분말과 과립체의 제조|Synthesis of Bimodal (Macro/Mesoporous) γ-Aluminas Powders and Granules
김영훈, 김창묵, 김필, 이종협|Younghun Kim, Changmook Kim, Pil Kim, Jongheop Yi
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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6H-SiC 기판 표면의 수소 식각에 의한 Step 제어와 결정 박막의 동종 핵 성장 연구|Surface step control of 6H-SiC wafer using Hydrogen etching and homoepitaxial growth of the single crystalline
이경선, 노재일, 이승현, 남기석|Kyung Sun Lee, Jae Il Roh, Seng Hyun Lee, Kee Suk Nahm
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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반응성 스퍼터링에 의한 TiAlN 박막의 증착|TiAlN thin film deposition by reactive sputtering
송영수, 변요한, 김혜인, 윤진구, 정지원|Young Soo Song, Yo Han Byun, Hye In Kim, Jin Koo Yoon, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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Cl2/Ar과 C2F6/Ar 가스를 사용한 Polysilicon 박막의 고밀도 플라즈마 식각|High Density Plasma Etching of Polysilicon Thin Film in Cl2/Ar and C2F6/Ar Gases
변요한, 김혜인, 정지원|Yo Han Byun, Hye In Kim, Chee Won Chung
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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InGaN/GaN 다층양자우물 LED구조의 Cl2/Ar ICP 식각|Inductively Coupled Cl2/Ar Plasma Etching of InGaN/GaN Multiple Quantum well Light-Emitting Diode Structure
박형조, 최창선, 최락준, 홍주형, 한윤봉|H. J. Park, C. S. Choi, R. J. Choi, J. H. Hong, Y. B. Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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NF3/Ar ICP를 이용한 SiO2/PR의 선택적 식각|Selective Dry Etching of SiO2 over Photo-resist using NF3/Ar Inductively Coupled Plasma
박형조, 한윤봉|Hyung Jo Park, Yoon Bong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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MHVPE(Modified Hydride Vapor Phase Epitaxy)법을 이용한 GaN 성장에서의 Black Deposit에 대한 연구|Studies on the Black Deposit of GaN Growth by MHVPE(Modified Hydride Vapor Phase Epitaxy) Technique
도창주, 여석기, 윤덕선, 한승훈, 박진호|Changjoo Doh, Deoksun Yoon, Seokki Yeo, Seunghun Han, Chinho Park
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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백색 유기발광소자 제조에 관한 연구|Studies on the Fabrication of White Organic Light Emitting Diodes
김정문, 이준호, 박진호|Jeongmoon Kim, Junho Lee and Chinho Park
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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고집적 metal-insulator-metal capacitor를 위한 Ru 전해도금|Ru electroplating for high-density metal-insulator-metal capacitor
권오중, 김재정|Oh Joong Kwon, Jae Jeong Kim
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
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저온에서 제조한 TiO2 박막의 미세구조 및 광촉매 활성|Microstructure and photocatalytic activity of TiO2 films prepared at low temperatures
윤영진, 안영욱, 김의정, 한성홍|Young Jin Yun, Young Wook Ahn, Eui Jung Kim, Sung-Hong Hahn
한국화학공학회 2002년 봄 학술대회 |
