| 번호 | 제목 |
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원자층 증착법으로 HfO2 박막이 코팅된 ZnS 형광체 분말의 발광 특성 향상|Improvement of Luminescent Properties of ZnS Phosphor Powder Coated HfO2 Thin Films by Atomic Layer Deposition Method 김형수, 김혁종, 김민완, 김휴석, 김석환, 이상우, 최병호 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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Preparation of TaN thin film By Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using Tert-butylimino-tris-diethylamino tantalum 김등관, 김도형 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Hf(O-iPr)4를 이용하여 원자층증착한 HfO2 박막의 특성분석 김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡 한국화학공학회 2004년 가을 학술대회 |
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Preparation of HfN Thin Film by Plasma Assisted Atomic Layer Deposition using tetrakis(dimethylamino)hafnium 김은정, 김도형 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of HfO2 Using Hf(O-iPr)4 and O2 김정찬, 허정식, 조용석, 문상흡 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |
