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플라즈마 에칭을 이용한 나노임프린트 패턴의 실리콘 복제
이동일, 최대근, 정준호, 이응숙, 최준혁
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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불소 함유 기능성 스템프를 이용한 상온 저압 자외선 나노 임프린트 공정
최대근, Altun Ali, 이동일, 정준호, 김기돈, 이응숙, 나종주
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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나노 표면처리를 위한 기상 자기 조립막 증착 및 자동화 공정 장비 개발
최대근, 임현의, 노정현, 이동일, 정준호, 이응숙
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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나노임프린트 리소그래피 기술을 이용한 비평면 나노패턴 형성에 대한 연구
홍성훈, 변경재, 한강수, 이헌
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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나노임프린트 리소그래피를 통한 sub micron급 2차원 나노 패턴의 다층 구조물 제작에 관한 연구
한강수, 홍성훈, 이종화, 이 헌
한국재료학회 2006년 봄 학술대회 |
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유-무기 혼성몰드를 이용한 나노임프린트 공정 기술
이동일, 정준호, 이응숙, 최대근, 배병수, 김우수
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노임프린트 공정에 적합한 솔-젤 플르오르화 하이브리드 재료|Fluorinated organic-inorganic hybrid materials for nano-imprints and soft-lithography
김우수, 최대근, 진정호, 배병수
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구|Anti-sticking SiO2 layer on Template for nanoimprint lithography technique
최방림, 문강훈, 박인성, 홍성훈, 양기현, 이헌, 안진호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노 임프린트 패턴을 이용한 CdS 나노 구조 제작|Fabrication of CdS nano stuructures by using nano imprint patterns
김성진, 김동환
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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나노임프린트 리소그래피를 이용한 Gold nano dot 패턴 형성에 대한 연구|Fabrication of gold nano pattern array using Nanoimprint lithography
홍성훈, 양기연, 이헌
한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
