| 번호 | 제목 |
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Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr)의 Si(100) 표면에서의 열분 해에 대한 표면 화학 연구|Surface Chemistry Study for Thermal Decomposition of Tetrakis(diethylamido)zirconium (TDEAZr) on Si(100) 정준희,임성원,용기중|Joonhee Jeong,Sungwon Lim,Kijung Yong 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
