화학공학소재연구정보센터
번호 제목
9 Trench-structured 기판 상 high dose ion implanted photoresist 제거 용액 개발
오은석, 임상우
한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
8 유기용매 기반의 implanted photoresist strip 용액 개발
오은석, 임상우
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
7 FT-IR spectroscopy 분석을 통한 GaAs의 산화 거동 연구
이진훈, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
6 유기용매를 이용한 high dose implanted photoresist 제거
오은석, 임상우
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
5 HF 표면 처리시 H2O2가 GaAs의 산화에 미치는 영향 연구
이진훈, 서동완, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
4 GaAs wafer의 표면 처리 및 재산화에 따른 표면 특성 변화 연구
임상우, 나지훈, 서동완, 이진훈
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회
3 Sb-based III-V 반도체 물질의 표면 세정 연구
서동완, 이진훈, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
2 GaAs 의 표면 처리 및 재산화에 따른 표면 종단 특성 변화 연구
이진훈, 서동완, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
1 GaAs 의 습식 세정 공정 중 단계별 표면 처리에 따른 표면 종단 특성 변화 연구
이진훈, 오은석, 김솔바로, 임상우
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회