| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
UV 나노임프린트 리소그래피의 Quartz 기판상의 Resin mold 제거를 위한 Hybrid 세정공정에 관한 연구 조윤식, 김민수, 강봉균, 김재관, 이병규, 박진구 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
| 1 |
UV/O3를 이용한 표면개질이 반도체 정밀세정에 미치는 영향 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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UV 나노임프린트 리소그래피의 Quartz 기판상의 Resin mold 제거를 위한 Hybrid 세정공정에 관한 연구 조윤식, 김민수, 강봉균, 김재관, 이병규, 박진구 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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UV/O3를 이용한 표면개질이 반도체 정밀세정에 미치는 영향 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |