| 번호 | 제목 |
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Effect of the dual synchronous pulsed plasma on the etch characteristics of SiO2 이호석, 양경채, 박성우, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구 염근영, 전민환, 김회준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
