화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Introduction of BARC and UL for Photolithographic Process: Optical and Chemical Interactions at Interfaces of Polymer Thin Films
Jae Hwan Sim, 이정준, 안재윤, 임수정, 강유진, 정기정, 김수웅, 배영은, 임재봉
한국공업화학회 2021년 봄 학술대회
5 전자용 케미컬 기술개발 동향
김진웅
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
4 유무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크에 관한 연구
유제정, 이경균, 이성구, 황석호, 김상범
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회
3 Hybrid hard mask with single layer to apply spin-on process
송재동, 유제정, 이성구, 이경균, 김상범
한국공업화학회 2010년 봄 학술대회
2 Materials of Spin-on Hardmask for Sub-70nm Device Fabrication
이정훈, 이창호, 김영호, 윤호규
한국고분자학회 2009년 봄 학술대회
1 Preparation and Application of Patternable Bottom Antireflective Coating Material
허근, 권기옥, 차상호, 윤상웅, 이무영, 이종찬
한국고분자학회 2006년 봄 학술대회