| 번호 | 제목 |
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원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구 송정규, 박주상, 이한보람, 윤재홍, 김형준 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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N2/H2 plasma를 이용한 Co 원자층 증착 공정 및 물성 윤재홍, 김도영, 김형준 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
| 1 |
Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt 김재민, 김형준 한국재료학회 2009년 가을 학술대회 |
