| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
반응성 스퍼터링법으로 제조된 TaNx 박막 저항체의 TCR 특성 변화|TCR Properties of TaNx Thin Film Deposited by Reactive Sputtering 최용락, 김선화, 송규호, 한승용, 정준혁 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |
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반응성 스퍼터링법으로 제조된 TaNx 박막 저항체의 TCR 특성 변화|TCR Properties of TaNx Thin Film Deposited by Reactive Sputtering 최용락, 김선화, 송규호, 한승용, 정준혁 한국재료학회 2005년 봄 학술대회 |