| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
RF-스퍼터링 성장된 Al-Ta 박막의 박막특성 및 발열특성|Physical Properties and Heating Characteristics of RF-Sputtered Al-Ta Thin Films 송대권, 이광섭, 박기남, 박인용, 이종원, 김규진, 남궁홍준 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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RF-스퍼터링 성장된 Al-Ta 박막의 박막특성 및 발열특성|Physical Properties and Heating Characteristics of RF-Sputtered Al-Ta Thin Films 송대권, 이광섭, 박기남, 박인용, 이종원, 김규진, 남궁홍준 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |