| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 | 15권 1호 |
| 발표분야 | 정보.전자소재 |
| 제목 | Silanol terminated poly siloxane을 이용한 하드마스크에 관한 연구 |
| 초록 | 반도체 산업에서 고집적화된 회로를 제작하기 위하여 미세패턴 형성을 위해 하드마스크가 사용되고 있다. 이에 본 연구에서는 습식공정이 가능한 하드마스크의 재료로서 선형구조의 Silanol terminated poly siloxane화합물을 이용하여 유-무기 하이브리드 중합체를 합성하였다. 중합체 및 첨가제들의 첨가비율을 변화시켜 감광층과의 2.0 이상의 식각선택비를 확보하고 하드마스크막의 균일도 및 경화도를 비교하였다. 이에 막의 균일도 ±10% 내외에 경화도 80%이상의 막을 제작하였으며, 감광층과의 식각선택비 또한 2.0 이상을 확보하였다. |
| 저자 | 유제정, 하지영, 이경균, 이성구, 김상범 |
| 소속 | 한국생산기술(연) |
| 키워드 | 하드마스크; 하이브리드 중합체; 식각선택비 |
