| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2013년 봄 (05/01 ~ 05/03, ICC JEJU) |
| 권호 | 17권 1호 |
| 발표분야 | 포스터-고분자 |
| 제목 | Polyimide 중공사를 이용한 CMS 제조 및 기체투과특성 |
| 초록 | 전자산업에서 발생되는 불화가스의 배출규제가 점점 강화되어감에 따라 배출량 저감이 절실히 요구된다. 반도체 제조공정 중 에칭(etching) 공정이나 세척과정에서 발생되는 SF6, CF4, C2F6, CHF3, CClF3 등은 특히 치명적이며, 대기 중에서 반응을 일으키며 생성되는 2차 오염물질 역시 인체 환경에 심각한 영향을 미친다. 따라서 이러한 불화가스를 분리, 회수하는 연구가 활발히 진행 중이다. 본 연구에서는 폴리이미드를 이용하여 상전이법에 의해 중공사막 전구체를 제조하고, tubular furnace를 이용하여 전구체를 열처리하여 CMS막을 제조하였다. 제조된 CMS막을 모듈화하여 SF6와 N2에 대한 투과 특성을 알아보았다. |
| 저자 | 김세종, 고형철, 하성용 |
| 소속 | 에어레인 |
| 키워드 | 분리막; 중공사막; 기체분리; CMS; SF6 |
