화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2003년 가을 (10/10 ~ 10/11, 부경대학교)
권호 28권 2호, p.88
발표분야 분자전자 부문위원회
제목 High-Strength Polysilsesquioxanes for Nanoporous Low-Dielectric Films
초록 There exists a strong need to develop new low-dielectric (k
저자 노현욱1, 김진범1, 이진규1, 이희우2, 차국헌1, 윤도영1, David W. Gidley3
소속 1서울대, 2서강대, 3Department of Physics
키워드 low-k; silsesquioxane
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