| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2011년 가을 (11/02 ~ 11/04, 경원대학교) |
| 권호 | 15권 2호 |
| 발표분야 | 플라즈마 처리 기술 및 응용 |
| 제목 | 직류아크 플라즈마를 이용한 태양전지용 실리콘 Texturing 공정 연구 |
| 초록 | 태양광발전 산업은 근래에 급속한 성장을 이루고 있고, 대부분의 태양전지는 결정실 실리콘을 사용하고 있다. 결정질 실리콘 태양전지의 전환효율은 약 14-20 % 정도이다. 전환효율을 떨어뜨리는 요인들 중 태양전지의 표면 반사율에 따른 원인은 약 3-6 %를 떨어지게 한다. 기존 연구에서는 직류아크 플라즈마트론을 이용한 식각 공정을 하여 1 μm/sec의 식각률을 얻을 수 있었다. 본 연구에서는 태양전지 효율 향상을 위해 실리콘 표면을 피라미드 형태의 구조로 만들기 위한 Texturing 공정을 대기압 및 저진공에 적용하였고, 피라미드 형성과정의 특성을 알아보기 위해 작동 시간을 변수로 하여 공정 형태를 관찰하여 최적의 공정을 찾아내었다. 대기압 및 저진공에서의 Texturing을 수행하여 각각의 공정 조건 및 반사율을 측정하였다. |
| 저자 | 좌상범, 강인제, 천세민, 이헌주 |
| 소속 | 제주대 |
| 키워드 | Plasmatron; Silicon; Texturing; Solar Cell |
