| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/11 ~ 05/13, 제주국제컨벤션센터) |
| 권호 |
15권 1호 |
| 발표분야 |
무기재료 |
| 제목 |
Synthesis and Characteristics of IGZO Solutions for TFTs by Sol-Gel Process |
| 초록 |
산화물 반도체중 Indium-Gallium-Zinc-Oxide(IGZO)는 높은 mobility, 낮은 공정 온도, 우수한 환경 안정성 그리고 높은 투명성을 갖는 소재이다. 이와 같은 특성을 이용하여 투명산화물메모리, 투명트랜지스터, Thin film transistor(TFT) 및 태양전지 등 광범위한 분야에 적용할 수 있는 소재로서 주목받고 있다. 본 연구는 sol-gel 법을 이용하여 전구체의 종류에 따른 농도비와 첨가제 및 안정제의 종류 등의 실험 조건을 변화하여 용액을 합성하고, 합성된 용액의 반도체적 특성과 TFT 특성을 확인하였다. |
| 저자 |
강국현1, 이유진1, 김영훈2, 김정한3, 이동규1, 이기라1
|
| 소속 |
1충북대, 2KETI, 3LG Display |
| 키워드 |
Sol-gel; IGZO; TFT
|
| E-Mail |
|
