학회 | 한국공업화학회 |
학술대회 | 2019년 봄 (05/01 ~ 05/03, 부산 벡스코(BEXCO)) |
권호 | 23권 1호 |
발표분야 | 에너지저장·변환_포스터 |
제목 | (Ga,Al):ZnO 투명전극층의 스퍼터링 출력에 따른 CIGS 박막태양전지 성능 변화 연구 |
초록 | 태양전지를 구성하는 투명전극은 태양광을 흡수층으로 전달하고 광생성 전자의 포집을 하는 데 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 250nm 두께의 GAZO (Ga,Al:ZnO) 박막을 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착하였다. 스퍼터링으로 증착하는 경우 기판 표면은 이온과의 충돌로 인해 손상되므로 낮은 출력으로 증착하는 것이 표면 결함을 줄이는데 유리하다. 반면, 빠른 증착속도를 요구하는 양산에서는 높은 출력의 증착이 더 유리할 것이므로, 방전출력은 최적 조건을 갖게 된다. 스퍼터링 출력과 태양전지 성능 간의 영향을 파악하기 위하여 i-ZnO/ZnS/Cu(In,Ga)Se2/Mo/Glass 구조 위에 각각 100W, 150W, 200W, 250W, 300W의 출력으로 GAZO 250nm 증착한 소자를 제작하여 IV, CV, QE 등의 전기적 특성을 비교할 것이다. |
저자 | 조성욱, 전찬욱 |
소속 | 영남대 |
키워드 | 태양전지; CIGS; TCO; 스퍼터링; GAZO; 투명전극층 |