화학공학소재연구정보센터
학회 한국고분자학회
학술대회 2013년 봄 (04/11 ~ 04/12, 대전컨벤션센터)
권호 38권 1호
발표분야 고분자구조 및 물성
제목 SEM의 BSE mode를 활용한 유무기복합재료의 형상분석
초록 SEM의 전자빔이 시료표면에 입사되면 표면에서 SE(Secondary Electron)이 주로 튀어나오며, 대부분의 SEM은 이차전자 검출기를 표준으로 사용하고 있다. 그 외에서 전자빔은 시료와 충돌하여 BSE(Back Scattered Electron)등 다양한 현상이 발생하고 이를 활용하여 다양한 형태의 측정이 가능하다. SE의 경우 샘플표면의 형상분석에 유리하며 BSE의 경우 composite information 수집에 유용하다. 본 연구에서는 BSE의 특성을 이용하여 유무기 복합재료를 BSE와 SE mode를 통합하여 관찰함으로서 SE mode만으로 관찰하였을 때와의 차이점을 확인하고 EDS분석을 따로 진행하지 않더라도 SEM 형상분석만으로 성분을 구별하고자 하였다. 이를 통해 형상만으로는 구별하기 어려웠던 복합재료의 형상을 명확히 하고 시료에 대한 더 많은 정보를 얻을 수 있었으며 분석에 필요한 시간 또한 절약가능 하였다.
저자 손지희, 김솔지, 임호연
소속 LG하우시스
키워드 SEM; SE(Secondary Electrons); BSE(Back Scattered Electron)
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