| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2021년 가을 (11/03 ~ 11/05, 대구 엑스코(EXCO)) |
| 권호 | 25권 2호 |
| 발표분야 | 포스터-환경·에너지 |
| 제목 | 반도체 클린룸의 AMCs 제거용 이온 교환 복합 필터 제조와 황화수소 및 암모니아 흡착 특성 연구 |
| 초록 | 반도체 산업의 메모리의 고집적화, 회로 패턴의 미세화에 따라 클린룸 공기 중에 존재하는 각종 유기 오염물, 파티클, 자연 산화물, 금속 불순물 등 가스상 오염물질(AMCs)이 반도체 포토레지스트 내 잔류물의 요인이 되어 반도체 제품의 품질 문제와 각종 불량을 야기한다. 특히 반도체 클린룸 내부에 다양한 AMCs 중에서 암모니아, 황화수소 등의 산성 및 알칼리성 가스는 표면에 금속불순물이나 산화막의 성장 속도에 영향을 주며 반도체 제조공정에 미치는 영향이 중요하게 대두되고 있다. 본 연구에서는 이온교환수지, 케미컬 에어 필터의 황화수소, 암모니아의 흡착 특성을 평가하기 위한 분석 설비를 구축하였고 이온교환수지를 분쇄하여 직경이 20~100μm인 분체를 제조하고 이온교환수지와 점착제 코팅 용액의 비율 조절을 통한 극성 가스 제거 효율 상승에 대한 연구를 진행하였다. 이온교환수지를 코팅한 필터의 흡착 특성을 평가한 결과 제거 효율이 70%에 도달했을 때 양이온 교환 수지의 암모니아 흡착 당량은 0.050(g/g), 음이온 교환 수지의 황화수소 흡착 당량은 0.041(g/g)으로 나타났다. |
| 저자 | 안이삭1, 김정훈1, 민수빈1, 강호철1, 서정권1, 이평수2 |
| 소속 | 1한국화학(연), 2중앙대 |
| 키워드 | 황화수소; 암모니아; 흡착; 클린룸; 케미컬 필터 |
