| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2012년 봄 (05/17 ~ 05/18, 무주덕유산리조트) |
| 권호 | 18권 1호 |
| 발표분야 | B. 나노재료(Nanomaterials) |
| 제목 | 나노임프린트 리소그래피와 습식 식각을 이용한 re-entrant curvature 구조제작 |
| 초록 | 최근 자기세정효과(Self-cleaning effect)를 갖는 표면의 제작 방법에 관한 관심 및 이에 대한 연구가 급증하고 있다. 특히 화학적으로 낮은 표면에너지 값을 갖는 재료를 이용하여 연잎과 같은 마이크로 구조와 나노구조가 혼재된 형태의 표면구조를 형성함으로써, 초발수성 (Superhydrophobic surface) 및 자기세정효과 (Self-cleaning effect)를 갖는 표면을 다양한 방법을 이용하여 제작 및 분석하는 연구가 진행되고 있다. 하지만 실제 연잎은 표면 에너지 값이 비교적 높은 물에 대해서는 초발수성을 나타내지만, 기름과 같은 상대적으로 낮은 표면 에너지 값을 갖는 액체에 대해서는 쉽게 젖는 특성을 나타낸다. 이와 같은 문제를 해결하기 위해서는 re-entrant curvature를 갖는 표면 구조가 필요하다. 이에 본 연구에서는 이러한 re-entrant 구조를 쉽고 넓은 면적에 제작하기 위한 연구를 진행하였다. 본 실험을 위해 저비용 및 대면적 적용이 가능한 나노 임프린트 리소그래피 공정 및 화학적 식각 공정을 이용하여 실험을 진행하였다. 실험 공정은 먼저 유리 기판 위에 내화학성 물질을 코팅 후, 그 위에 나노 임프린트 리소그래피 공정을 이용하여 마이크로 크기의 패턴을 제작한다. 다음으로 형성한 마이크로 패턴을 식각 마스크로 이용하여 건식 식각 공정을 통해 화학적 식각성이 큰 물질에 마이크로 크기의 패턴을 형성한다. 마지막으로 화학적 식각을 통해 유리 기판의 식각을 진행하면, re-entrant curvature를 갖는 유리 기판을 제작할 수 있다. |
| 저자 | 최학종, 이헌, 신주현, 김규태, 최제홍 |
| 소속 | 고려대 |
| 키워드 | 초소수성; 초발수성; re-entrant curvature; biomimetics |
