| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2003년 봄 (04/11 ~ 04/12, 연세대학교) |
| 권호 | 28권 1호, p.50 |
| 발표분야 | 특별 심포지엄 |
| 제목 | Recent MEMS Activities in POSTECH MEMS Lab. |
| 초록 | 1980년대 후반들어 각광을 받기 시작한 MEMS (Micro Electro Mechanical System)연구는 반도체 공정기술을 기계공학에 접목한 것으로 요약될 수 있으며, 표면미세가공과 기판미세가공을 중심으로 발전되어왔다. 그러나, 반도체 공정 특성상 다층의 박막 적층구조로 미세 기계구조물을 제작하게되어, 실제적인 3D 미세구조물이나, 수백・수천 μm 두께의 미세구조물 제작에는 한계를 나타내게 되었다. 이에 이러한 한계를 극복하고자하는 여러 가지 연구가 시도되었으며, 그 대표적 연구방향으로는 방사광가속기의 X-선을 노광공정에 이용해 수천 μm두께의 미세구조물 제작이 가능한 LIGA공정, SU-8과 같은 새로운 감광재의 개발로 기존의 UV 노광을 이용해 LIGA공정과 비숫한 역할을 하는 LIGA-like공정, 수천・수만층의 적층구조를 이용해 복잡한 3D 구조를 구현하는 rapid prototyping 기술을 MEMS 기술에 접목한 μ-SL (Micro Stereo-Lithography) 공정등이 있다. 이러한 연구분야를 기존의 MEMS 연구와 구별하여 HAR-MEMS (High Aspect Ratio MEMS) 혹은 HARMST (High Aspect Ratio Micro Structure Technology)라 통칭하며, 향후 μm 단위의 MEMS 기술과 기존의 macro 세계를 연결하는 Milimeter-Structure 기술로도 주목받고 있다. 본 세미나에서는 최근에 포항공대에서 진행되고 있는 새로운HAR-MEMS 공정기술과 이를 바탕으로 한 Microfluidics 및 Bio-MEMS 응용 연구 결과를 발표한다. 구체적인 발표 테마로는 Oxygen Pump, DNA Manipulator, Micro Needle, Chaotic Mixer, Micro Lense 등이 있다. |
| 저자 | 이승섭 |
| 소속 | 포항공과대 |
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