| 학회 |
한국고분자학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (04/08 ~ 04/09, 대전컨벤션센터) |
| 권호 |
35권 1호 |
| 발표분야 |
기능성 고분자 |
| 제목 |
Novel Crosslinked Methylsilsesquioxane Matrix with Cyclic-methyl-tetra-silanol(2D-linker)for Low-k and High-Modulus |
| 초록 |
저유전 매트릭스로 가장 많이 쓰이는 Methylsilsesquioxane (MSQ) 매트릭스의 저유전화와 고강도화를 위하여 다양한 비율의 Trialkoxy-methyl silane 단량체와 이차원 구조의 cyclic-methyl-tetra-silanol 가교제를 혼합한뒤 HCl 산촉매를 이용하여 25도, H2O/THF 혼합용액에서 졸겔반응을 통하여 실세스키옥산 졸을 제조하였다. 합성되어진 졸은 1H NMR, 과29Si NMR, FT-IR, 을 통하여 조성 및 구조를 분석하였다. 스핀코팅과 경화반응을 통하여 얻어진 박막의 강도 및 유전상수를 나노인덴터와 HP-4290시스템을 통하여 측정한 결과, 가교제의 농도에 따라 실세스키옥산 매트릭스 유전상수의 값이 2.5 ~ 3.0 이었으며, 강도는 5~10 GPa이었다. 또, 보다 낮은 유전상수를 얻기 위하여 포로젠과의 혼합 시스템 역시 검토하였다. |
| 저자 |
오성연1, 최승석1, 이희승1, 황승상1, 최형민2, 백경열1
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| 소속 |
1한국과학기술(연), 2숭실대 |
| 키워드 |
MSQ; cyclic-methyl-tetra-silanol; 실세스키옥산
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| E-Mail |
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