| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2008년 봄 (05/22 ~ 05/23, 상록리조트) |
| 권호 | 14권 1호 |
| 발표분야 | 반도체재료 |
| 제목 | Effects of size, humidity and aging on particle removal with high energy laser shock wave cleaning |
| 초록 | 레이저 유기 충격파 세정기술은 60 nm이하의 particle에 대해 세정능력이 우수하고 공기 중에서 실시할 수 있다. 또한 시편에 레이저 빔을 직접 조사하는 기존의 건식 레이저 세정 방식과 달리 시편과 레이저 초점에서의 거리를 쉽게 제어하여 레이저 빔에 의한 시편 열손상을 일으키지 않고 세정되는 면적이 넓어 빠른 속도의 입자 제거를 수행할 수 있는 장점이 있다. 본 연구에서 사용된 레이저 유기 충격파 세정기술은 Nd:YAG laser를 공기 중에 집속 시켜 기체 브레이크다운을 통해 충격파를 발생시키고 이를 이용하여 substrate 위의 particle을 제거 하는 기술이다. 레이저 유기 충격파의 거동과 특성, 입자 제거 메카니즘을 laser beam deflection method (LBD)를 이용 하여 규명 하였다. 1 J 이상의 고에너지 레이저 충격파를 이용하여 Si, SiO3, Si3N4 wafer에 silica particle을 1, 0.5, 0.3 um size로 오염 시켜 보관습도, 보관기간 등의 보관 환경에 따른 세정효율을 살펴보았다. Focal point로부터 시편까지의 거리가 짧고 particle의 size가 클수록 세정 효율은 높게 나타났고 보관습도를 0, 50, 100% 로 하여 aging 하였을 때 보관습도와 보관기간이 증가함에 따라 세정효율이 급격하게 감소하는 것을 볼 수 있었다. |
| 저자 | 김진수, 박진구, 김태곤 |
| 소속 | 한양대 |
| 키워드 | laser-induced plasma; laser shock wave; particle removal; particle size effect; aging time and humidity |
