| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 가을 (10/27 ~ 10/29, 신라대학교) |
| 권호 |
17권 2호 |
| 발표분야 |
C. Energy and the Environment Technology(에너지 및 환경재료) |
| 제목 |
LiPON 박막 증착을 위한 고밀도 Li3+XPO4 target 제조 |
| 초록 |
리튬 이차 전지에 electrolyte로 사용되는 LiPON 박막은 pulsed laser deposition 방법이나 sputtering 방법으로 증착이 가능하다. 이를 위해서는 원료 분말을 가압 성형한 후 고온에서 소결한 고밀도 target이 필요하다. Li3PO4 target은 소결 과정에서 Li 성분의 증발이 일어나기 때문에 소결된 target은 Li 성분이 부족하게 된다. 증착 과정 중에도 Li 성분의 증발이 일어나 Li 성분이 부족한 LiPON 박막이 형성 된다. 또한 소결 과정 중 가압 성형한 target이 β-Li3PO4에서 γ-Li3PO4로 상 변화가 일어나 target의 형태가 심하게 변형되는 현상이 발생한다. 따라서 Li2O, Li2CO3 등 의 분말을 첨가하여 Li의 함량을 높이고 소결 후 target의 형태 변형을 막아야 한다. 본 연구에서는 흡습성이 큰 Li2O 분말 사용을 피하고 Li2CO3 분말을 사용하여 Li 성분을 증가 시킨 target을 제조하였다. Li 성분을 첨가한 target을 소결하였을 때, Li 성분을 첨가하지 않고 소결한 target에 비해 P조성의 비율이 줄어드는 것을 확인하였다. 또한 Li3PO4 분말을 가압 성형 하기 전, 열처리를 통해 상 변화 시켜 target의 형태가 변형하는 것을 방지하였다. |
| 저자 |
은영진, 우성주, 김혜진, 최범진, 이원준
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| 소속 |
세종대 |
| 키워드 |
Li3PO4 target; Li3PO4 상변화; Li 성분
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| E-Mail |
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