| 초록 |
LiPON은 주로 리튬 이온 전지의 고체 전해질로 사용되고 있고, 최근에는 리튬-공기 전지의 음극 보호막으로 연구되고 있다. 음극 보호막의 물질로는 LiPON, LiF, LiCl 등이 있고, 특히 LiPON은 화학적 안정성이 우수하여 음극 보호막 물질로 적합하다. LiPON 박막의 증착 방법으로는 pulsed laser deposition(PLD), sputter 등이 사용된다. Sputter를 이용한 LiPON 박막은 균일하게 증착되는 반면에 pulsed laser deposition으로 제조된 LiPON 박막의 표면은 target으로 부터 방출 된 거대 입자의 증착으로 인해 매우 거칠다. 때문에 거대 입자 증착을 막을 수 있는 방향의 연구가 필요한 실정이다. 본 연구에서는 pulsed laser deposition에 이용되는 target의 밀도에 따른 박막 형태 변화를 비교하였다. 소결 과정을 통해 밀도를 증가 시킨 target으로부터 방출 된 입자의 크기는 소결 과정을 거치지 않은 target에서 방출 된 입자의 크기보다 훨씬 작았다. 또한 기판 온도, laser fluence 등의 변화를 통해 공정 변수들이 박막의 표면 형상에 미치는 영향을 고찰하였다. |
