| 학회 |
한국화학공학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (04/22 ~ 04/23, 대구 EXCO) |
| 권호 |
16권 1호, p.158 |
| 발표분야 |
공정시스템 |
| 제목 |
대용량 온실가스 분해 기술 |
| 초록 |
과불화탄소(PFC, perfluorocarbon) 는 반도체 생산공정에서 사용되는 대표적인 온실가스로, 화학적 및 보건적 안정성 때문에 환경 안전 면에서는 특별히 규제되지 않고 대기중으로 배출되는 물질이나, 지구온난화에 끼치는 영향이 매우 커서 이 물질의 배출 저감에 관심이 고조되고 있다. 본 논문에서는 PFC 의 한 종류인 CF4(carbontetrafluoride)와 다양한 종류의 가스와 입자성 물질들이 포함되어 있는 반도체 배기가스의 처리에 적합한 공정의 개발 및실플랜트 적용에 대하여 언급하고자 한다. 본 공정시스템은 800°C 이내에서 CF4 를 분해하는 촉매 반응부분, 에너지 소모를 최소화하기 위한 열교환부분, 입자성 물질과 부식성 가스등을 제거하여 반응기의 안정적 운영에 필요한 전처리부분과 반응 부산물을 처리하기 위한 후처리부분으로 구성되어 있다. 25CMM(m3/분) 용량으로 90% 이상의 CF4 저감효율을 보이며, CF4 의 열분해 온도인 1400°C 에 비하면 매우 낮은 온도에서 최소한의 에너지 소모로 높은 저감 효율을 보이는 설비가 확보된 것으로 판단된다. |
| 저자 |
신상무1, 임성진1, 이현호1, 이조영1, 박용기2, 김호년3
|
| 소속 |
1삼성엔지니어링, 2한국화학(연), 3에코프로 |
| 키워드 |
온실가스; 촉매; 전자산업; PFC; SF6; 분해; 이산화탄소
|
| E-Mail |
|
| VOD |
VOD 보기 |
| 원문파일 |
초록 보기 |
