| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2002년 가을 (10/24 ~ 10/26, 서울대학교) |
| 권호 | 8권 2호, p.5210 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | Damascene 구리 배선 구조에 있어서 은박막을 이용한 산화 방지막의 상온 형성 |
| 초록 | Galvanic 치환 반응을 이용하여 증착한 은 박막이 구리막의 산화에 미치는 영향을 조사하였다. 구리막위의 은 박막은 산소의 확산을 방해하는 확산 방지막 역할을 하여 구리의 산화 반응을 늦추었다. 또한 구리막위에 은 박막을 증착한 후 열처리를 하면 grain boundary가 감소하고 은 원자가 grain boundary를 메우는 효과에 의하여 구리의 산화가 줄어들게 되었다. |
| 저자 | 김용식, 김수길, 김재정 |
| 소속 | 서울대 |
| 키워드 | copper; oxidation; electrodeposition; silver |
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| 원문파일 | 초록 보기 |
