| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (05/14 ~ 05/14, 강릉대학교) |
| 권호 | 10권 1호 |
| 발표분야 | 반도체 I (실리콘) |
| 제목 | 실리콘 몰드를 이용한 멀티모드 평면 광도파로 제작 |
| 초록 | 몰드를 이용하는 엠보싱 기술로 코어 크기가 40 um인 멀티모드 평면 광도파로를 제작하였다. {100} 실리콘 웨이퍼에 KOH나 TMAH 용액으로 선택적 습식식각하여 엠보싱용 몰드를 만들었다. 광도파로 코어 물질은 유-무기 하이브리드 재료인 MD(Methacrylic HYBRIMER)이고, 코어 제작은 실리콘 웨이퍼 표면에 MD를 도포하고 몰드로 누른 후, 100℃에서 경화하는 순서로 진행되었다. MD와 몰드의 원활한 분리를 위하여 몰드에 SiO2박막을 만든 후, 표면에 PFAS (perfloroalkylsilane) 처리를 하였다. SEM으로 몰드와 제작된 광도파로의 패턴 형상을 관찰하였고, AFM으로 표면 조도를 측정하였다. |
| 저자 | 정유민1, 김영철1, 김우수2, 배병수2 |
| 소속 | 1한국기술교육대, 2한국과학기술원 신소재공학과 |
| 키워드 | 멀티모드; 평면광도파로; 엠보싱 |
