| 학회 | 한국화학공학회 |
| 학술대회 | 2004년 봄 (04/23 ~ 04/24, 공주대학교) |
| 권호 | 10권 1호, p.938 |
| 발표분야 | 재료 |
| 제목 | SnO2 나노 입자를 이용한 gas sensor 의 제작 |
| 초록 | 최근 나노입자를 이용한 화학 또는 전자 부품 소자 제조에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 SnO2/PdCl2/ThO2 나노입자를 감지막으로 한 gas sensor를 제작하고 각종 기체에 대한 감도를 측정하였다. Alumina 기판위에 Ag electrode patterning 후 RuO2 heater, SnO2/PdCl2/ThO2 film을 차례로 screen printer공법에 의해 printing 하고 전기로에서 열처리하여 소자를 제작하였다. Labview program을 사용하여 gas 농도에 따른 저항 변화로부터 소자 특성을 측정하였다. |
| 저자 | 최승혁, 김종성, 김민태 |
| 소속 | 경원대 |
| 키워드 | gas sensor; SnO2; 나노입자 |
| 원문파일 | 초록 보기 |
