| 초록 |
최근의 micro-machining 발전에도 불구하고 마이크로 구조물의 점착현상은 여전히 중요한 문제로 남아있다. 점착현상이란 마이크로 구조물의 표면에 의도되지 않는 접착이 일어나 회복하려는 힘이 생기는데 모세관 힘, 반 데르 발스 힘, 정전력과 같은 표면에 작용하는 힘을 극복하지 못하고 영구적으로 붙어 있는 현상을 말한다. 이와 같은 점착현상을 방지하기 위해서 미세 구조물 표면을 화학물질로 개질하는 방식에는 여러 가지가 있는데, 그 중 가장 대표적인 방법이 자기조립단층막(self-assembly monolayers) 형성이다. 본 실험에서는 anodic aluminum oxide(AAO) 통해 pore를 균일하게 형성시킨 후에 점착형상을 방지하기 위하여 자기조립단층막을 형성하였다. AAO를 phosphoric acid를 사용하여 pore widening 시간을 증가시킬수록 pore size가 커지는 것을 확인하였다. 그리고 AAO 위에 말단기가 fluorine인 물질을 self-assembly하여 소수화 처리한 것을 hexadecane과 DIwater로 advancing contact angle을 확인 하였으며 이는 nanoimprinting시 발생하는 점착현상을 방지 하는데 적용 가능 할 것이다. |
