| 학회 | 한국고분자학회 |
| 학술대회 | 2006년 봄 (04/06 ~ 04/07, 일산킨텍스) |
| 권호 | 31권 1호 |
| 발표분야 | 분자전자 부문위원회 |
| 제목 | 산소 및 수분에 의한 유기박막트랜지스터의 성능저하 메카니즘 분석 및 ALD를 이용한 AlOx 보호막의 passivation 효과 |
| 초록 | 최근 차세대 디스플레이 분야에서 가장 각광 받고 있는 OFET(Organic Field-Effect Transistor)은amorphous Si-TFT 수준에 근접한 전하이동도를 보이고 있지만, 산소 및 수분, 빛 등의 환경인자에 노출되었을 때 신뢰성 있는 소자 성능을 유지하지 못하는 단점이 있다. 이에 본 연구에서는 전하이동도의 온도의존성 실험을 통해 소자에 도입된 trap state를 평가하여 소자의 성능저하 메커니즘을 분석하였다. 더불어 산소, 수분 등의 환경적 인자들이 trap density를 어떻게 변화시키는지를 관측하여 소자의 전기적 특성변화의 원인을 고찰하였다. 이를 바탕으로 산소 및 수분을 차단할 수 있는 AlOx 박막을 ALD(Atomic layer deposition) 방식을 통해 90℃의 저온에서 증착하여 OFET의 성능저하를 최소화하면서 장시간 안정한 성능지수를 구현할 수 있는 소자를 제조하여 그 특성을 평가하였다 |
| 저자 | 전하영, 신권우, 양상윤, 박찬언 |
| 소속 | 포항공과대 |
| 키워드 | OFET; trap; Passivation |
