| 초록 |
최근에 많은 전자 부품과 소자를 이용한 다양한 센서가 개발되었다. 현재 가장 많이사용되는 열감지 기기는 온도에 따라 전기적 저항이 변하는 귀금속 후막재료를 사용한다.그러나 후막형 금속은 온도가 높아질수록 저항의 증가가 직선성을 나타내지 않기 때문에 낮은 온도범위에서만 사용되어졌다. 박막 센서는 상대적으로 낮은 생산단가와 반도체 산업에서 이용되는 기술을 응용한 높은 생산성과 같은 이유로 많은 관심을 받고 있다. 현재 센서시장은 후막형 센서가 그 주류를 이루고 있지만, 앞으로 전자 산업이 발달됨에 따라 박막형센서가 더욱 많이 사용되어질 것이다. 여러 가지 온도 센서 중 RTD 온도센서는 소자의 온도변화에 따른 저항값의 변화를 이용한 센서로서 전에는 RTD 센서에 절연체로 쌓여진 얇은 Pt wire가 가장 많이 사용되었지만, 현재는 가격이 낮고, 가장 안정적이며 효과적인 박막형 RTD 센서가 개발되어 사용되어지고 있다. 본 연구에서는 Pt 박막을 이용하여 RTD 센서를 제작하였다. Pt 박막은 D.C. sputter를 이용하여 증착한 다음, 온도를 변화시키며 열처리를 하였다. XRD, SEM, AFM, 4-point probe를 이용하여 열처리에 따른 박막의 표면구조와 온도에 따른 전기적 저항특성을 조사하였고, 사진식각공정을 이용하여 serpentine형패턴의 RTD 센서를 제작한 다음, 저항-온도 특성을 조사하였다.
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