| 초록 |
전자산업의 강판재료의 식각공정에서 생산량 증대를 위해 보다 빠른 강판 이동속도와 많은 식각용액의 사용이 요구된다. 그러나 많은 식각액의 사용으로 비용상승과 배출액 증가로 환경적 문제를 발생시켰다. 이를 개선하기 위해 H2O2에 의한 산화반응으로 신액사용량과 구액배출량을 최소화하는 공정기술을 개발하여 양산공정에 적용하였다. 이 연구의 첫 단계는 공정의 분석과 컴퓨터 모사로 수율 향상을 확인하는 기술타당성 검토이며 두번째는 상세 설계 및 현장에 적용하는 실용화 연구이다. 식각액 재생공정의 수율 향상은 반응조 내부구조개선, 공정 흐름도 및 운전조건개선, 공정 효율산정과 관리를 위한 시스템 개발에 의해 가능하다. 타당성 연구 단계에서는 현장 및 운전데이터, 주요 운전 전략을 분석하고, 이를 바탕으로 최적 공정 흐름도와 운전범위, 설계 개선 범위를 파악하고, 이 범위에서 운전 및 설계 변수가 공정의 수율에 주는 영향을 bench 실험과 컴퓨터 모사를 통해 분석하였다. 공정의 공정효율을 예측해주는 모델과 식각액 재생공정의 효율을 예측분석해주는 관리 tool도 개발하였다. 타당성 검토에서 얻어진 결과를 바탕으로 양산공정 적용을 위한 연구를 수행하였다. Bench scale 과 pilot scale 실험을 수행하여 주요 운전 및 설계 변수와 반응 효율간의 관계를 확인하였으며 개발된 tool과 운전/설계 전략을 식각액 재생 공정에 적용함에 따른 경제적 효과가 매우 클 것으로 기대된다.
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