초록 |
1차원 나노구조는 넓은 비표면적과 독특한 구조로 그동안 많은 연구가 진행되어 왔다. 이러한 특성들로 인해 나노구조는센서 분야에서 많은 연구가 진행되고 있는데, 그 물질로써 TiO2, SnO2, ZnO2, RuO , In2O3가 많이 연구되고 있다. 나노구조 센서의 저항변화는 주로 센서 표면에서 가스분자와의 반응에 의해 일어나기 때문에 작은 입자와 넓은 비표면적을 갖는 나노 구조는 높은 감도와 회복성을 나타낼 수 있다. 이러한 물질 중 SnO2는 가스에 대한 우수한 감도와 회복성을 나타낸다. 따라서 본 연구에서는 전기방사를 이용한 일차원 SnO2 나노구조를 제조하여 높은 비표면적의 SnO2 고감도 센서의 연구를 수행하였다. SnO2 센서의 특성은 SEM, TEM, XRD, BET를 통해서 분석하였다. 파이버를 이루고 있는 입자의 크기는 5~10nm정도이며 rutile 구조를 갖는다. 이 나노파이버의 BET 측정결과 70m2/g으로 매우 높은 비표면적을 가지는 것을 확인했고, 실제로 이 SnO2 나노파이버를 CO와 NO2 가스 분위기에서 센서특성 실험을 한 결과 5ppb의 높은 감도와 회복력을 나타내었다. |