| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2010년 봄 (05/13 ~ 05/14, 삼척 팰리스 호텔) |
| 권호 |
16권 1호 |
| 발표분야 |
G. Display (LCD, PDP, OLED) Materials(디스플레이 재료) |
| 제목 |
Aluminum Indium Oxide (AIO) 전구체 용액과 소자의 신뢰성 향상에 관한 연구 |
| 초록 |
금속 산화물 반도체는 넓은 밴드갭을 갖고 있어 가시광선 영역에서 투명하고 환경적으로 안정하며 비교적 높은 전하 이동도를 보이는 장점이 있어 최근 디스플레이 구동 소자 및 스마트 창 등으로 활용하려는 시도들이 많이 이루어지고 있다. 용액 공정 기반의 알루미늄-인듐 산화물 (AIO) 박막트랜지스터는 350 ℃에서 제작 가능하여 비교적 저온 공정이 가능하고 Al 원자가 In2O3 lattice의 In 원자를 치환하여 격자의 구조를 변화시키고 캐리어 농도를 감소시켜 저온 공정에서도 높은 전하이동도와 안정적인 전기적 특성을 얻을 수 있다는 장점이 있다. 그러나 기존에 보고된 인듐 아세테이트(acetate)를 전구체로 사용하고 에틸린다이아민을 chelating agent로 사용한 경우 공기중의 수분에 민감하여 합성된 전구체 용액의 화학적 안정성이 좋지 않은 문제점이 있었다. 본 연구에서는 전구체 용액의 안정성을 향상시키기 위하여 다양한 종류의 전구체를 탐색하여 전구체 용액의 화학적 안정성을 향상시키고 제작된 소자의 특성을 분석하였다. 그 결과 알루미늄-인듐 산화물 박막 트랜지스터 전구체 용액이 100일 이상 화학적으로 안정한 것을 확인하였고 이를 바탕으로 제작된 소자의 전기적 안정성을 분석하였다. |
| 저자 |
황영환, 서석준, 전준혁, 배병수
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| 소속 |
한국과학기술원(KAIST) 신소재공학과 광학재료연구실 (LOMC) |
| 키워드 |
산화물반도체; 신뢰성
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