| 학회 |
한국공업화학회 |
| 학술대회 |
2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 |
19권 2호 |
| 발표분야 |
촉매_포스터 |
| 제목 |
흡착/산화 촉매 필터를 적용한 PGMEA 제거에 관한 연구 |
| 초록 |
반도체 제조 공정이나 정밀제품 또는 전자제품 제조공정은 일반적으로 오염 물질들이 배제된 클린룸 내에서 제조되고 있고, 이러한 클린룸의 오염 정도는 제조되는 제품의 생산수율에 직결되는 중요한 요소로 작용하고 있다. 웨이퍼의 불량을 방지하고 생산 수율을 높이기 위해서는 불량품 원인 물질인 기상으로 존재하는 휘발성 유기화합물(VOCs)이 미립자 상태로 공기 중에 존재하여 클린룸으로 유입되는 것을 차단하여야 한다. 본 연구에서는 반도체 클린룸 내 주로 발생하는 PGMEA의 제거 성능을 확인하고 적용성 검토를 위해 펠렛 타입의 흡착/산화 촉매를 카트리지 형태의 필터로 제작/적용하였다. 작업 환경에서 요구로 하는 수준의 제거가 가능함을 확인하였다. 본 연구결과를 통해서 PGMEA 반도체 클린룸 뿐만 아니라 자동차 도장 작업 등 VOC를 사용하는 모든 전 사업 분야의 적용으로 확대가 가능하다. |
| 저자 |
김학수1, 배희주1, 이재성1, 권순욱1, 강현식1, 배진영1, 백승배2
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| 소속 |
1선문대, 2연세대 |
| 키워드 |
PGMEA; 흡착/산화 촉매; 클린룸; 악취
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| E-Mail |
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