| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2015년 가을 (11/04 ~ 11/06, 제주국제컨벤션센터(ICCJEJU)) |
| 권호 | 19권 2호 |
| 발표분야 | 환경에너지_포스터 |
| 제목 | 반도체 제조시 사용되는 공정가스(불소가스)의 저감효율 측정 방법 연구 동향 |
| 초록 | 현재 전세계는 지구온난화로 인한 급격한 기후변화에 대처하기 위해 온실가스 저감을 위한 다양한 노력을 기울이고 있다. 최근에는 전자산업의 식각 및 증착공정에 사용되는 과불화탄소(PFCs, Per-Fluro Compounds)를 비롯한 불소화합물 가스(F-gas)의 배출을 줄이고자 저감시설을 점차 확대·적용하고 있으며, 저감시설의 저감효율측정에 대한 관심이 증대되고 있는 실정이다. 특히, 국내의 경우 배출권거래제가 시행됨에 따라 전자산업의 공정중에 사용되는 F-gas를 줄이기 위한 저감시설의 저감효율 측정방법이 주목받고 있으며, 저감효율은 온실가스 배출량 산정시 중요한 인자로서 작용한다. 이에 본 연구에서는 F-gas저감시설의 저감효율을 측정하기 위한 미국 EPA의 Dre protocol, UNFCCC의 CDM 방법론, 일본의 F가스 효율측정 가이드라인 등을 소개하고 저감효율의 측정방법론별 차이점을 비교하였다. 감사의 글 본 연구는 2015년도 한국산업기술평가관리원의 연구비 지원(과제번호 : 10053589)으로 수행되었습니다. 이에 감사드립니다. |
| 저자 | 이봉재, 이정일 |
| 소속 | (재)한국화학융합시험(연) |
| 키워드 | 전자산업; F-gas; 저감효율; 지구온난화 |
