| 학회 | 한국공업화학회 |
| 학술대회 | 2009년 가을 (10/15 ~ 10/16, 서울산업대학교 내 서울테크노파크) |
| 권호 | 13권 2호 |
| 발표분야 | 교육-기능성 나노소재 개발을 위한 기기분석 원리 |
| 제목 | 원자현미경 (AFM)의 원리와 응용 |
| 초록 | 나노기술의 발전과 함께 표면해석은 전자현미경을 넘어서 보다 간편한 원자현미경의 사용을 요하고 있다. 전자현미경과는 다르게 실온(또는 저온, 진공)에서 시료의 비파괴를 통해 표면의 3차원 이미지를 해석할수 있으며, z-축으로는A 수준의 분해능과 x, y-축으로는 nm 수준의 분해능을제공한다. 기본 원리가 간단하여, 표면의 마찰력, 성분, 탐침과의 상호작용력 해석 등 다양하게 활용되고 있다. 또한 국소영역의 나노패터닝 수행과 동시에 연속 분석이 가능하다. 본 교육에서는 원자현미경의 기본적인 원리와 단순한 표면분석장비로서의 AFM이 아닌, reading-writing-measuring 툴로서의 활용 범위를 확장하여 소개하고자 한다. |
| 저자 | 김영훈 |
| 소속 | 광운대 |
| 키워드 | 원자현미경; AFM; 표면분석 |
