화학공학소재연구정보센터
학회 한국재료학회
학술대회 2007년 가을 (11/02 ~ 11/02, 성균관대학교)
권호 13권 2호
발표분야 반도체재료
제목 MOCVD법으로 다양한 온도에서 성장된 ZnO nanorod의 결정성 변화에 따른 발광특성
초록 ZnO는 UV영역의 넓은 밴드갭(3.37eV)과 큰 엑시톤 결합에너지(60meV)를 가지는 직접 천이형 반도체이다. 특히 ZnO는 가시광 영역에서 높은 투과율을 가지며, 상온에서 물리적, 화학적으로 안정하기 때문에 UV sensor, UV laser, LEDs 등 광소자 분야에서 연구가 활발히 진행되고 있다. 이러한 ZnO가 광소자의 발광재료로써 높은 효율을 얻기 위해서는 결정성을 높여 내부 결함을 감소시키며, 발광 면적을 높일 수 있는 구조가 요구된다.
특히 MOCVD법으로 성장한 나노막대는 에피성장되어 높은 결정성을 기대할 수 있으며, 성장 조건을 조절함으로써 나노막대의 aspect ratio와 밀도 제어할 수 있기 때문에 표면적을 넓혀 높은 발광효율을 얻을 수 있다.
본 실험에서는 성장온도를 제어함으로써 조밀하게 수직 배열한 나노막대를 성장시키고, 그 결정성을 향상시키고자 하였다. 이를 평가하기 위해 SEM, XRD, TEM, PL을 이용하여 결정성 및 구조적, 광학적 성질을 측정하였다.
저자 최미경, 김동찬, 공보현, 안철현, 김영이, 조형균
소속 성균관대
키워드 MOCVD; ZnO; nanorod
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