| 학회 |
한국재료학회 |
| 학술대회 |
2011년 봄 (05/26 ~ 05/27, 제주 휘닉스 아일랜드) |
| 권호 |
17권 1호 |
| 발표분야 |
E. Structural Materials and processing Technology(구조재료 및 공정기술) |
| 제목 |
Al2O3와 Poly(4-vinyl phenol)(PVP)를 이용한 Low hysteresis Flexible OTFTs의 제작 |
| 초록 |
Flexible TFTs의 경우 Organic materials의 활용이 flexiblity한 특성과 저가의 공정 비용의 특성 때문에 많은 연구가 진행되고 있다. 현재 유기 절연층은 낮은 leakage current와 높은 비유전율의 특성 때문에 poly(4-vinyl phenol)(PVP)가 널리 이용되고 있다. 하지만 절연층으로써 PVP 단일막을 사용할 경우 무기절연체인 SiO2, Al2O3와 비교하여 높은 두께의 PVP가 증착되어야 안정적인 TFT 특성을 보인다. 이러한 높은 두께의 PVP의 경우 leakage current는 감소시키지만 유전상수의 감소로 소자 특성이 저하된다. 본 연구에서는 이를 개선하기 위하여 PVP와 Al2O3를 같이 사용하여 절연층을 형성하였다. spin-coating된 PVP 사이에 Atomic layer deposition (ALD)를 이용하여 Al2O3를 증착시켜 하이브리드 절연층을 형성하였고, polyethersulphone (PES) 기판 위에 gate 전극으로써 poly(3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) 을 이용하여 유기박막트랜지스터를 제작하였다. 또한 Al2O3 (30nm)/ PVP (63nm)/ Al2O3 (10nm) 절연층 구조에서 두께를 최적화 함으로써, Al2O3을 PVP의 수분과 PEDOT의 확산 방지막으로 이용하였다. 이렇게 제작된 유기박막트랜지스터는 높은 mobility(0.615cm2/Vs)와 capacitance, 낮은 hysteresis(1.13V)와 leakage current 특성을 보였다. |
| 저자 |
이영규1, 김현호2, 이재갑1
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| 소속 |
1국민대, 2포항공대 화학공학과 |
| 키워드 |
OTFT; PVP; hysteresis; Flexible
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| E-Mail |
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