| 학회 | 한국재료학회 |
| 학술대회 | 2010년 가을 (11/11 ~ 11/12, 무주리조트) |
| 권호 | 16권 2호 |
| 발표분야 | B. Nano materials and processing Technology(나노소재기술) |
| 제목 | Effect of Ta seeding Ag/Ta/glass Multilayer Thin Films deposited by Sputtering Process |
| 초록 | 현대 건축물에서 에너지 손실을 대부분 창호에서 발생되고 있으며 에너지 절감을 위해서는 창호의 단열성을 향상 시켜야한다. 저방사(Low Emissivity)코팅 유리는 건축물의 냉난방비용을 절약할 수 있는 대표적인 건축재료로써 외부에서 조사되는 태양광의 가시광선 영역은 높은 투과율을 가지면서 적외선 영역의 파장을 반사하는 특징을 지니는 박막코팅기술이다. 이 코팅유리는 일반적으로 유전체/금속/유전체의 다층박막 구조로 되어있으며, 유전체층은 내구성 증진과 금속층의 반사를 낮추어 투과율이 향상된다. 금속층은 적외선영역의 복사에너지를 반사하는 역할을 하며 전도성이 우수한 Ag 또는 Au, Pt 등을 이용하고 있다. Ag의 경우 산화물기판 위에 증착하였을 경우 Island 성장을 하고 이들의 합체는 전기적, 광학적 특성에 큰 영향을 미치게 된다. 본 연구에서는 DC-sputtering법을 이용하여 sodalime glass 기판상에 Ag를 코팅하고 중간층 Si와 Ta를 삽입하여 Ag의 특성에 미치는 영향을 관찰하였다. 제조된 박막의 표면미세구조는 FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)으로 분석하였다. 박막의 광학적 특성은 UV-Vis-NIR로 측정하였으며 전기적특성은 4 point probe로 저항값을 분석하였다. |
| 저자 | 박선호, 이기선 |
| 소속 | 공주대 |
| 키워드 | Low emissivity; Silver; Tantalum; Thin films; sputtering |
